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从超纯水制备到回用水利用,高频科技为芯片生产提供双重保障
文 /     2026年06月16日 10时23分

  伴随全球半导体产业迭代升级,高端芯片制造对超纯水的水质纯度、稳定性和资源利用效率提出更高要求。作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,高频科技聚焦芯片制造用水核心需求,构建起涵盖超纯水制备、储运、收集、处理、回用全流程的完整业务闭环,为芯片制造提供高可靠、高效率、低成本的水资源解决方案。

  ppt级超纯水质,为芯片生产提供可靠用水保障

  超纯水是芯片制造的核心工艺用水,广泛应用于晶圆清洗、蚀刻、光刻等关键工序。水中含有的微粒、总有机碳(TOC)、溶解氧、电阻率等微量杂质,都会直接影响芯片成品良率。因此,半导体行业对超纯水纯度标准异常严苛,其制备工艺复杂度、精细化程度高,具备颇高的技术准入门槛。

  深耕集成电路行业二十余年,高频科技持续深耕超纯水核心技术,不断迭代优化制备工艺,已具备稳定的ppt级(万亿分之一)超纯水制备与供应能力,全面适配芯片生产线用水标准。其自研的超纯水制备系统,集成18项以上核心专利工艺,搭配8重增压优化处理流程,产出的超纯水在电阻率、溶解氧、溶解硅、硼含量、微粒、TOC等各项核心指标上,均完全满足高端半导体工业的严苛用水要求。

  在超纯水配送环节,高频科技通过变频增压泵和比例调节阀实现管道压力恒定,供水流量通常高于用水量20%~50%,确保回水管道内水流速始终处于安全区间,有效抑制微生物滋生。同时,配送管道稳定性高,有效避免有机物、离子等杂质的析出,确保超纯水不被污染的供应至机台端。

  目前,高频科技已为国内多家知名半导体企业提供超纯水系统及配套服务,项目覆盖12英寸先进制程产线,持续保障客户生产全阶段的超纯水需求。

  整厂水回收率达90%,为芯片制造打开节水降本新空间

  芯片制造是耗水大户,且制程越先进、工艺步骤越多,用水量越大,提高水循环利用率,是半导体企业降本增效的重要举措。

  高频科技运用先进的回用水处理技术,搭配定制化方案设计,致力于最大限度提高水的循环利用。凭借对制程工艺的深刻理解,高频科技可对芯片产线产生的30余类废水进行精准分流与针对性回收,涵盖纯水再生浓水、低浓度氢氟酸废水、研磨废水、酸碱废水、洗涤塔废水等多种类型。其设计的项目水平衡可实现整厂用水制备回收率高达90%,在确保水质达标的基础上,显著降低客户综合用水成本,助力企业提升资源利用效率和市场竞争力。

  凭借先进的超纯水制备技术、稳定的供水保障能力以及高效的水资源回用体系,高频科技打造出覆盖半导体用水生命周期的水处理解决方案,赢得半导体领域客户的一致认可。随着本土半导体产业链的持续扩容,以高频科技为代表的超纯工艺供应商正成为半导体稳健发展的重要支撑力量。

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